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| 基于CVD传感元件平台ASHCROFT雅科ZT/ZX/ZL系列高纯压力传感器 |
| 来源于: 发表时间：2024/7/17 |
半导体工业跟着轿车制作，人工智能，物联网，工业4.0等 域的飞速发展，面临着产能，可靠，供应链成本等重大应战。雅科的压力测量技术和产品，包括装备CVD传感元件的高纯压力传感器以及运用 Si-Glas? 超薄单晶硅膜片可变电容传感元件的微差压传感器，在诸如气体操控面板，氢气压力检测，以及洁净室要害环境操控等运用 域，为半导体制程和设备供给精确的测量和有用的保障。
依据CVD传感元件渠道ASHCROFT雅科ZT/ZX/ZL系列高纯压力传感器
高纯气体的纯度至少为99.999%，其清洁度水平超越制药职业的 万倍甚至更多。如此高标准的要求是依据半导体制程的精密，也因为制程 旦被污染所形成的丢掉巨大。实际上某些设备触及多达400个工艺过程，也增加了被污染的机率。
因此压力传感器必须具有高精确，高洁净度，接液质料应能与多种气体兼容，同应确保介质和颗粒潴留的可能降到 低程度。部分运用场合需要符合气密要求。
雅科ZT/ZX/ZL系列高纯压力传感器依据CVD传感元件渠道，是超纯运用的专用压力传感器产品，其产品特包括能习惯不同介质的接液元件质料，如316L, A286，Co-Ni 合金等，也包括VCR接头，以及符合规范的表面光洁度和测量精度。每台产品都通过泄露检测(<5 x 10?? atmcc/s)以及两层包装处理，确保完整和洁净度。
CVD传感元件技术，是以化学气相堆积的工艺(Chemical Vapor Deposition)，使多晶硅薄膜与接液基座形成原子 其他结实结合，是确保ZT/ZX压力传感器的稳定与可靠的要害。
雅科GX/CX/DX等微差压传感器产品依据MEMS制作的的Si-Glas? 超薄单晶硅膜片可变电容传感元件，选用雅科TruAccuracy?技术进行校验, 充分考虑零点和满量程差错，可选SpoolCal?规划，允许在线标定和校验。
Si-Glas传感元件运用的硅膜片具有出色的弹和延展，金属和晶体通过溅射的方法与硅片结实结合，因此传感元件具有出色的温度规划和安装方位改变的习惯，具有出色的长时间稳定。这是雅科特有的技术，也是确保雅科的微差压传感器精确可靠的要害。 |
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